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三維光學形貌儀具有3D測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優(yōu)于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全，維護成本更低。
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產品簡介：
三維光學形貌儀結合相移垂直掃描的前沿技術與顯微光干涉技術，不需要復雜光路調整程序，即可在非接觸、無破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D納米深度的表面檢測分析不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析，更可提供鏡面表面的納米級粗糙度和臺階高度分析
并追溯至IS0國際規(guī)范。三維光學形貌儀具有的測量能力，可在幾秒內就完成整個視場的掃描得到測量樣品的3D圖形與高度數據，檢測速度與深度量測能力優(yōu)于逐點逐面掃描的共焦掃描顯微鏡，3D圖形量測能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力，且不需要使用電子束或雷射，開機快又安全，維護成本更低。
無論是拋光面，還是粗糙面，甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。適合各種材料與微元件表面特征和微尺寸檢測，應用領域包含:觸控面板(Touch Panel)
太陽能板(Solar Cell)
晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
光碟/硬碟( DVD Disk /Hard Disk)
微機電元件(MEMSComponents)
平面液晶顯示器(LCD)
高密度線路印刷電路板(HDIPCB)
IC封裝(IC Package)
精密微機械元件或模具(Micro MechanicalPartsorMode)以及其它材料分析與元件微表面研究。
納米深度3D形狀顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.62um(50X物鏡)的量測能力，所具有的納米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發(fā)、生產品檢時所的工具。
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